Rasterelektronenmikroskop Jeol JSM-6510

Elektronenquelle

Wolfram-Kathode

Beschleunigungsspannung

0,5 bis 30 kV

Auflösung im SE-Bild

3 nm bei 30 kV, 15 nm bei 1 kV

Vergrößerungsbereich

x5 bis x300 000

Probenbühne (Verfahrweg)

X: 80 mm, Y: 40 mm, Z: 6 bis 45 mm

Detektoren

Sekundär- und Rückstreuelektronendetektor