Mikroskopie & 3D-Scanner
Materialstrukturen entdecken
Durch unsere bildgebenden Analysetechniken erforschen wir die Mikro- und Nanostruktur von Materialien. Durch unsere tomographischen Möglichkeiten erhalten wir sogar einen dreidimensionalen Einblick in die Struktur. Aufgrund der anwendungsorientierten und industrienahen Forschungstätigkeiten greifen wir auf entsprechendes Erfahrungspotential zurück. Dies schließt sowohl die präparative Probenvorbereitung und die computergestützte Auswertung als auch die Nachbearbeitung ein.

Ansprechpartner: Annika Pfaffenberger
Telefon: +49 921 55 7503
Mail: annika.pfaffenberger@uni-bayreuth.de
Elektronenquelle Wolfram-Kathode
Beschleunigungsspannung [kV] 0,5 bis 30
Auflösung im SE-Bild [nm] 3 bei 30 kV, 15 bei 1 kV
Vergrößerungsbereich x5 bis x300 000
Probenbühne (Verfahrweg) [mm] X: 80, Y: 40, Z: 6 bis 45
Detektoren
Sekundär- und Rückstreuelektronendetektor
Telefon: +49 921 55 75 03
Auflösung [nm] 0,2 (Linie), 0,29 (Punkt), bei 200 kV
Hochspannung [kV] 120; 160; 200 (variabel)
Nennspannung [eV] 0 – 2500 (Schrittweite 0,2 eV)
Kathode thermische LaB6-Kathode
Koehler Strahlungssystem vier Linsen
Fokuslänge [mm] 3
sphärische Aberrationskonstante cs [mm] 2,2
Chromatische Aberrationskonstante cc [mm] 2,2
Astigmatismus [µm] <1
kleinste Fokussierschrittweite [nm] 15
Spektrometertyp Omega
Isochromatik [eV] Ernergieauflösung (reduzierte Bestrahlung) ± 0,65
Verteilung [µm/eV] 0,8 (Energieverteilungsebene), 0,3 (Bildebene)
Bildaufnahme
Negativfilm (3,25″ x 4″), Gatan Ultrascan 1000 CCD-Kamera mit Gatan GMS Bildverarbeitung
Telefon: +49 921 55 75 03

Vergrößerung 6,3 bis 40 fach
Ausstattung
digitale und analoge Bildverarbeitung
Prüfverfahren
Oberflächentopographie, Messmikroskop
Telefon: +49 921 55 7503
Automatisiertes Mikroskop mit hochauflösender Leica DFC450 Digitalkamera und LAS-Software für Bildbearbeitung
Objektive: 5x, 10x, 20x, 50x (plus 10x)
Methoden: Auflicht (Hellfeld, Polarisation), Durchlicht (Hellfeld, Polarisation)
Motorischer Hochleistungs-Fokussiertrieb mit geringer Schrittweite von 10 nm zur Aufnahme von Bildstapeln in Z-Richtung
- Darstellung von Proben mit hoher Rauheit mit sehr guter Bildschärfe
- Quantifizierung von Höhenunterschieden an der Probenoberfläche
- Automatisches Kombinieren von überlappenden Bildern durch Stitching-Funktion
Kann mit einer Mettler-Toledo FP82HT Hotstage (in Kombination mit einem 20x Objektiv, Temperaturbereich: RT bis 375 °C) benutzt werden.
Genauigkeit der Hotstage: RT to 100 °C ± 0.4 °C
100 to 200 °C ± 0.6 °C
200 to 300 °C ± 0.8 °C
Telefon: +49 921 55 75 03
Mail: annika.pfaffenberger@uni-bayreuth.de
Standort: Universität Bayreuth
Sputtermaterial Gold
Telefon: +49 921 55 75 03
Maximale Scan-größe [mm] 230 x 240 x 300
Lichtoptik LED (multicolor)
Reproduzierbarkeit [µm] 0,5
Genauigkeit [µm] ± 2
Technologie
Automatisierte Rauheitserfassungsvorrichtung
Kamera mit verschiedenen Vergrößerungen
- Low (12x, 25x, 38x, 50x)
- High (40x, 80x, 120x, 160x)

Maximale Scan-größe [mm] 580 x 300 x 200
Lichtoptik LED (multicolor)
Reproduzierbarkeit [µm] 2
Genauigkeit [µm] ± 10
Technologie
Automatisiertes 3D-Scanning-Gerät
Stufenlos drehbarer Objekttisch (bis zu 360°)
Kippbarer Objekttisch (bis zu 45°)
